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OBIRCH應(yīng)用(鐳射光束誘發(fā)阻抗值變化測(cè)試)


芯片設(shè)計(jì)IC 芯片開封 集成電路設(shè)計(jì)

芯片設(shè)計(jì)IC SEM及EDX 集成電路設(shè)計(jì)

芯片設(shè)計(jì)IC 探針臺(tái)應(yīng)用 集成電路設(shè)計(jì)

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芯片設(shè)計(jì)IC OBIRCH 集成電路設(shè)計(jì)

芯片設(shè)計(jì)IC LC液晶熱點(diǎn)偵測(cè) 集成電路設(shè)計(jì)

芯片設(shè)計(jì)IC 芯片研磨 集成電路設(shè)計(jì)

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芯片設(shè)計(jì)IC SAM應(yīng)用 集成電路設(shè)計(jì)

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OBIRCH 原理: 用激光束在器件表面掃描,激光束的部分能量轉(zhuǎn)化為熱量。如果互連線中存在缺陷或者空洞,這些區(qū)

域附近的熱量傳導(dǎo)不同于其他的完整區(qū)域,將引起局部溫度變化,從而引起電阻值改變?chǔ),如果對(duì)互連線施加恒定電

壓,則表現(xiàn)為電流變化ΔI= (ΔR/V)I2, 通過此關(guān)系,將熱引起的電阻變化和電流變化聯(lián)系起來(lái)。將電流變化的大小與所成

像的像素亮度對(duì)應(yīng),像素的位置和電流發(fā)生變化時(shí)激光掃描到的位置相對(duì)應(yīng)。這樣就可以產(chǎn)生OBIRCH像來(lái)定位缺陷.

OBIRCH 應(yīng)用:

OBIRCH常用于芯片內(nèi)部高阻抗及低阻抗分析,線路漏

電路徑分析.利用OBIRCH方法,可以有效地對(duì)電路中缺

陷定位,如線條中的空洞、通孔下的空洞。通孔底部高

阻區(qū)等;也能有效的檢測(cè)短路或漏電,是發(fā)光顯微技術(shù)的

有力補(bǔ)充。

芯片開封

LC / EMMI / OBIRCH 對(duì)比
? ? 靈敏度 背面觀察 現(xiàn)象
? LC 毫安級(jí)別 No No Hot Spots
? EMMI 微安級(jí)別 No Light Emission
? OBIRCH 微安級(jí)別 Yes Thermo-electric Property

 

 

 

 

 

 
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.(2011年11月5日)................................................................................
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